Page 165 - HTW_25_Jahre_Forschung

Abb. 5: Forschungsgruppe Sensorik und Dünnschichttechnik

entfallen alle Schritte der photolithographischen Weiterführende Informationen und
Strukturierung. Erhebliche Kostenvorteile zeich- Publikationen (Auswahl)
nen sich ab. Ein Dimensionierungsbeispiel zeigt
einen Drucksensor, der bei 100 bar Nenndruck (mit Homepage htwsaar.de/sensorik
0,25 ‰ Dehnung) bereits ein Rohsignal von 3 mV/V
entwickelt, jedoch auch zu höheren Drücken inner- M. Langosch, M. Cerino, A. Landes, A. Lellig, D. Vollberg, A.-C.
halb kleiner Fehlergrenzen bleibt. Der Berstdruck Probst, D. Göttel, M. Cerino, O. Freitag-Weber, G. Schultes, Pattern
liegt in diesem Fall bei über 900 bar. Definition of foil based Sensors with ultrafast UV Lasers, Sensor
Kongress, 19-21.5.2015, Nürnberg
Das hohe technologische und ökonomische Po-
tential der Nutzung hochempfindlicher Sensor- M. Cerino, R. Britz, T. Kuberczyk, D. Göttel, A. Landes, M. Langosch,
schichten wird anhand der aufgezeigten Beispiele A.-C. Probst, D. Vollberg, G. Schultes, Ceramic based pressure
sichtbar. Die Forschungsgruppe verfügt über sensor with highly sensitive thin film, Sensor Kongress,
verschiedene Patente und betreibt die kontinuier- 19-21.5.2015, Nürnberg
liche Weiterentwicklung der Schichteigenschaf-
ten und vorteilhafter Sensorlösungen. G. Schultes, D. Vollberg, M. Langosch, A.-C. Probst, A. Landes,
D. Göttel, M. Cerino, A. Lellig, O. Freitag-Weber, Highly sensitive
Fazit und Danksagung foil strain gauges, 4. Tagung Innovative Messtechnik, 28.5.2015,
Technisches Museum Wien, Tagungsband, Seite 6 - 11,
Die Forschungs- und Entwicklungsarbeiten zu ISBN 978-3-8440-3560-5
neuartigen, hochsensiblen DMS-Materialien sind
langwierig und aufwändig, sie werden deshalb R. Koppert, H. Schmid-Engel, St. Uhlig, A.-C. Probst, D. Goettel,
nicht von den einschlägigen Firmen betrieben G. Schultes, U. Werner, Structural and physical properties of
oder finanziert. Ausgehend von Initialförderungen highly piezoresistive nickel containing hydrogenated carbon thin
durch die htw saar, konnten die Arbeiten über films, Diamond & Related Materials, 25 (2012) 50-58
verschiedene externe Förderungen weitergeführt
werden. Zu nennen sind insbesondere das Saar- R. Koppert, D. Göttel, G. Schultes, U. Werner; NanoNi@C:
ländische Landesforschungsförderprogramm, die Hochempfindliche Funktionsschicht für Druck- und Kraftsenso-
BMBF-Förderung aus den Fachhochschulpro- ren; tm - Technisches Messen: Vol. 77, 2010, No. 12, 631-637
grammen, ein DFG-Forschungsprojekt, die konti-
nuierliche Förderung durch die ZeMA gGmbH und G. Schultes, R. Koppert, D. Göttel, O. Freitag-Weber, W. Brode,
die langjährige Unterstützung durch die Firma Schichtwiderstand mit konstantem Temperaturkoeffizienten
Bizerba aus Balingen. Zurzeit ermöglicht ein För- sowie Herstellung eines solchen Schichtwiderstandes, Patent
derprojekt innerhalb des Validierungsprogramms PCT/EP2009/002530 sowie US-Patent US8198978
des BMBF (VIP-Programm) die Weiterführung der
Arbeiten. Mit einer beginnenden Kommerziali- Wissenschaftspreis Info unter:
sierung der Ergebnisse rechnen wir etwa ab dem http://idw-online.de/pages/de/news325212
Jahr 2017. Die gesamte Forschungsgruppe (Abb. 5)
bedankt sich bei allen Fördergebern für die aus-
163 dauernde Unterstützung.